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SK－450／451G SC部コントローラメモリー异常対処方法
コントローラメモリー异常（E001～E040）には、装置のメインパネルより复旧可能なものとパソコンのシーケンサプログラミングツール（GPPA、GPPW等）によりメモリーの强制リセットが必要なものとの2种类あります。

1． 装置のメインパネルより复旧が可能なもの
・E001 ワークサイズデータSUMチェック异常
・ E003 ブラシ／ノズルデータSUMチェック异常
・E005 スピン洗浄データ1SUMチェック异常
・ E006 スピン洗浄データ2SUMチェック异常
・ E009 レシピデータSUMチェック异常
・ E010 プロセスデータ1SUMチェック异常
↓ ↓
・ E039 プロセスデータ30SUMチェック异常

2． パソコンのシーケンサプログラミングツール（GPPA、GPPW等）によりメモリーの强制リセットが必要なもの
・ E002 薬液カウンタデータSUMチェック异常
・E004 WET准备データSUMチェック异常
・ E007 环境データSUMチェック异常
・ E008 温调データSUMチェック异常
・ E040 ローカルデータSUMチェック异常

3． 复旧方法
（1）メインパネルより复旧が可能なもの
① E001 ワークサイズデータSUMチェック异常
メインパネルより実际の基板サイズを入力して下さい。（読み出しはしないで下さ
い。）
その后オーブンの搬送チャック闭の位置も念のため、确认して下さい。以前と违う
ようであればティーチングが必要です。
②E003 ブラシ／ノズルデータSUMチェック异常
メインパネルより、再度データを书きこんで下さい。読み出しができれば、そのまま
再书き込み可能です。
③E005 スピン洗浄データ1SUMチェック异常
メインパネルよりスピン洗浄データ1を再度书きこんで下さい。読み出しができれ
ば、そのまま再书き込み可能です。
④E006 スピン洗浄データ2SUMチェック异常
メインパネルよりスピン洗浄データ2を再度书きこんで下さい。読み出しができれ
ば、そのまま再书き込み可能です。
⑤ E009 レシピデータSUMチェック异常
メインパネルよりレシピデータを再度书きこんで下さい。読み出しができれば、その
まま再书き込み可能です。
⑥ E010 プロセスデータ1SUMチェック异常
メインパネルよりプロセスデータ1（処理データ1）を再度书きこんで下さい。読み出しが出きれば、そのまま再书き込み可能です。
⑦ E011～E039
メインパネルよりそれぞれのエラーに対応するプロセスデータを再度书きこんで下さい。読み出しが出きれば、そのまま再书き込み可能です。

（2）パソコンからメモリーの强制リセットが必要なもの
このエラーは、メインパネルに対応する画面が无い为、メモリーの强制リセットが必要
です。
メモリーの强制リセットは、CPUをRUNにしたまま行ないます。
① D6100のKの値にエラーに対応する数値を入力します。
例 ： E002の场合、D6100にK2と入力する。
： E007の场合、D6100にK7と入力する。
： E040の场合、D6100にK40と入力する。
② M6118をセットします。

《注意事项》
（ⅰ）E040はティーチングデータ（搬送アーム、スピンチャックPos．等）です。この操作を実行した后、ティーチングデータは全てクリアされています。再度ティーチングが必要です。
（ⅱ）D6100のKの値を“0”のままで、M6118をセットすると、このメモリー异常（E001～E040）に対応する全てのメモリーがクリアされます。ご注意下さい。